1. 拡大側の第1画像面から第2の画像面に投影する投影光学系。<br>複数のレンズを含み、第1光学系の内部に形成された第1の中間画像を介して還元側から入射する光を形成する第1の光学系を、拡大側の第2中間画像に入れる。そして<br>第2の中間画像よりも拡大側に近い位置に位置する正反射力を有する第1の反射面を含む第2の光学系、<br>ここで第1中間画像は還元側に向けて傾斜するように形成され、第1光学系は、第1中間画像の拡大側に最も近く配置され、還元側に凸状である還元側の表面を有するレンズを含む。<br>ここで第1光学系は、第1中間画像の還元側に配置された第1の屈折光学系を含む。第1中間画像の拡大側に配置された第2の屈折光学系と、<br>第2の屈折光学系の拡大側に最も近いレンズの有効直径が第1屈折光学系の最大有効径よりも小さい。
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