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納米尺度的ALD薄膜可以承受適當的薄膜變形，提高薄膜的可靠性

納米尺度的ALD薄膜可以承受適當的薄膜變形，提高薄膜的可靠性

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Nano-scale ALD film can withstand proper film deformation and improve film reliability

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Nanoscale ALD films can withstand proper film deformation and improve film reliability

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復制成功！

Nano scale ALD thin films can withstand appropriate film deformation and improve the reliability of the films<br>

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