我相信在CHC没有监测粒子计数。我们能否了解 DIW 的颗粒基线,尤其是在 0.1um 颗粒大小的颗粒中?<br><br>1. 关于 DIW 的一些质量信息包括:<br>(i) 阿尔, Ca, Cr, 库, 费, 镁, 尼, Na, 锌, B, Pb, Mn, K, Si<br>(二) 粒子计数为0.1um<br>(三) 细菌计数 CFU/100ml<br>(四) 电阻率趋势图<br>(五) 任何Anonic<br>(六) 跨过滤器的压力记录<br><br>2. DIW 年度 PM 何时进行?<br>3. CHC 中有多少 DIW 系统套件?<br>4. 除了DIW流量,我们希望有DIW的设施布局<br>5. 请发送一份比较CHC TOC与关东水系统的官方报告。<br>6. 密度计的校准记录<br><br>过去会议的会议记录如下:<br>1. Micron 提议每年 PM 重置所有内容。关东反馈 PM 不可能更早。下一个下午日期是 2020 年 6 月,因为需要生成库存。每年的下午时间为 3 周。<br>2. 结论是SEM扫描无法捕获关东和F11实验室的点位。(与多里斯共享的 KLA 方法不同,即使对粒子的晶圆贴图扫描也无法实现<br>3. Micron 认为,在发行前的正常粒子计数在晶圆图上为 250pc。事发后,有3000项罪名。CIP 为 +1500pcs 后。在 F11 的正常晶圆扫描期间,F11 不会故意进行采样,以检查颗粒是否点蚀。关东回到如何实现250pc的晶圆。• 重要<br>4. 建议关东检查导致SO2颜色变化更快消失的原因。• 我们需要关东/CHC 进行足够硬的驱动,以了解导致高 SO2 的机制是什么。我们一直在听,二氧化硫更高。但是,SO2 对最终产品的贡献者是什么?待决的 CHC/关东,以找出 * 重要<br>5. 关东反馈,研究改进S5(减少水分技术)和S8(吹出更多的CDA去除SO2)<br>6. S1 到 F8 = 所有下午均于 2020 年 3 月 15 日执行。<br>7. DIW PM 于 2020 年 3 月 15 日执行<br>8. CC 中的 TOC 显示 30ppb(考虑到关东的在线 TOC 为 5ppb,则非常高)。基于关东,这是由于CO2影响读数。托块位过高使得很难知道 DIW 中的实际 TOC 级别是多少。<br>9. CDA 系统 PM = 2020 年 3 月 15 日,过滤器每月进行清洗。CDA 在 S1 和 S8 中使用。<br>10. S1 到 S3 = 碳钢。对形成Fe残留物/晶体的碳钢会有一些反应,从而影响流速。每次 PM 都会监视厚度(仍待等待共享厚度图表)<br>11. S4 = 加入传入的原始 DIW * (对质量无控制)<br>12. S7 = 添加 ppt 级 DIW(30 加金属。规格是什么?)<br>13. 关东 COA vs 微米粒子计数不匹配 = 数据共享。为什么不匹配?关东回应了微气泡。但F11的LPC趋势与晶圆图看不到的改进有关 – 重要<br>14. 在指派 Kanto DIW 技术人员到 CHC 查看 DIW 系统后, 总体报告是什么?
正在翻譯中..